Beam'R2狹縫掃描式光束質量分析儀 
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拉曼測量 
Libs激光誘導擊穿 
顯微光譜測量 
量子效率 產品中心 · 光束質量分析儀
狹縫掃描式光束質量分析儀系統提供高分辨率，但是要求光束小于1μm并且成本要高于相機型光束分析儀。盡管不能給出光束圖像，但是在很多情況下XY或XYZ就可以滿足應用要求。
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產品特點：
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· 190至1150 nm，Si探測器
· 650至1800 nm，InGaAs探測器
· 1000至2300或2500 nm，InGaAs（擴展）探測器
· 端口供電，USB2.0，靈活的3米電纜，沒有電源磚
· 0.1μm采樣和分辨率
· 線性和對數X-Y輪廓
· 輪廓縮放和狹縫寬度補償
· 經濟又準確
· M2選項 – 光束傳播分析、發散、聚焦
產品選擇：
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? | Beam’R2 | BeamMap2 |
主要特征 | 集成X和Y輪廓 | 實時 XYZθΦ 測量和焦點查找 實時指向、發散和M2?測量 |
接口 | USB 2.0 Port-powered | |
CW or Pulsed? | CW，脈沖最小 PRR（Si 探測器）≈ [500/（激光直徑μm）] kHz | |
波長 | Si:190-1150 nm InGaAs:650-1800 nm Si+InGaAs:190-1800nm Si+InGaAs,extended:190-2500nm | |
X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ | N/A | 是 |
最佳分辨率 | 0.1 μm | |
最小光束 | 2 μm (Knife Edge mode) | |
更新率 | 5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz) | |
M2?測量 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
定位焦點 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
指向/發散 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
開關增益（選項 dB） | 32 dB | |
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參數 | 參數值 | BeamMap2 | Beam'R2 | Comments |
波長可選范圍（nm） | 190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500 | Yes | Yes | Si, InGaAs, Si + InGaAs, |
被掃描光束直徑 | 2?μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X) | Yes | Yes | Si + InGaAs, extended |
X-Y?輪廓及中心分辨率： | 0.1?μm?或者?0.05%?的掃描范圍 | Yes | Yes | ? |
精度: | ±?<2%?± ≤0.5μm | Yes | Yes | ? |
CW or Pulsed | 連續/脈沖 最小PRR?≈?[500/(激光直徑μm)]kHz | Yes | Yes | ? |
光束對準準直 | ±?1 mrad with BeamMap2 Colli Mate | Yes | - | ? |
M2?測量 | 1 to >20,?±?5% | Yes | - | Beam Dependent |
實時更新 | 5 Hz | Yes | Yes | 4 Z-plane hyperbolic fit |
最大功率＆輻照度 | 1 W Total & 0.3 mW/μm2 | Yes | Yes | Adjustable 2-12 Hz |
增益范圍： | 32dB | Yes | Yes | Metallic film on Sapphire slits |
