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ATLEX-500-L準分子激光器
ATLEX-500-L準分子激光器

ATL Lasertechnik @ ATLEX-500-L準分子激光器

產品負責人

陳工

姓名：陳工

電話：0431-85916189

郵箱：info@lljcar.com

產品詳情

產品特點：

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· TMC（全金屬陶瓷）管路

· 電暈預電離

· 固態開關

· 延長動態和靜態氣體壽命（數月）

· 激光頭容積6 L

· 全部風冷

· RS-485、RS232、USB及光纖接口

· 可沖洗光具座

· 集成4閥系統，便于氣體處理

· 能量穩定模式

· 符合歐洲CE標準，符合RoHS規范

· 模塊化設計/服務友好

參數型號
型號 ATLEX-1000-L ATLEX-500-L
機械尺寸
重量 70 kg 70 kg
尺寸 600 x 415 x 567 mm 600 x 415 x 567 mm
基礎參數
最大重復頻率 1000 Hz 500 Hz
波長（nm） 193/248 193/248
氣體介質 ArF/KrF
ArF/KrF
高壓開關技術 固態開關 固態開關
最大脈沖能量 10/15 mJ 10/15 mJ
最大平均功率  8.0/10.0 W 4.0/6.5 W
脈沖寬度 5 – 8 ns 5 – 8 ns
光束尺寸(V x H) 6 x 4 mm 6 x 4 mm
光束發散角(V x H) 2x 1 mrad 2 x 1 mrad
能量穩定性（標準偏差） < 2 % < 2 %
冷卻 Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid
電力需求 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
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